X射线荧光光谱仪是用晶体分光而后由探测器接收经过衍射的特征X射线信号。如果分光晶体和控测器作同步运动，不断地改变衍射角，便可获得样品内各种元素所产生的特征X射线的波长及各个波长X射线的强度，可以据此进行定性和定量分析。

　　下面我们来看看常用的三款X射线荧光光谱仪的结构和功能方面的区别：

　　波长色散型荧光光谱仪(WD-XRF)，一般由光源(X-射线管)、样品室、分光晶体和检测系统等组成。为了准确测量衍射光束与入射光束的夹角，分光晶体是安装在一个精密的测角仪上，还需要一庞大而精密并复杂的机械运动装置。由于晶体的衍射，造成强度的损失，需要作为光源的X射线管的功率要大，一般为2～3千瓦。但X射线管的效率极低，只有1%的电功率转化为X射线辐射功率，大部分电能均转化为热能产生高温，所以X射线管需要专门的冷却装置(水冷或油冷)，这就使得仪器结构比较复杂，硬件成本高，因此波谱仪的价格比能谱仪要高的多。

　　普通能量色散型X-荧光光谱仪(ED-XRF)，一般由光源(X-射线管)、滤光片、样品室和检测系统等组成，与波长色散型X荧光光谱仪(WD-XRF)的区别在于它不用分光晶体，机构比较简单，价位比较低，但轻元素的检出限较高。

　　偏振式能量色散X射线荧光光谱仪ED(P)-XRF，不采用滤光片，而采用偏振次级靶，其它与普通能量色散X荧光光谱仪(ED-XRF)相似，结构也比较简单，价位也远低于波长色散型荧光光谱仪(WD-XRF)，但在轻元素的检出限方面接近波长色散型荧光光谱仪(WD-XRF)。