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- 高分辨场发射扫描电镜
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HITACHI SU-8010高分辨场发射扫描电镜包括SU-8010主机和E-1045喷铂喷碳装置,并配备有EDAX X射线能谱仪。加速电压为15kV时,分辨率为1.0nm,加速电压为1kV时,分辨率为1.3nm。
日立2005年在中国推出了S-4800型高分辨场发射扫描电镜,由于出色的应用性能、良好的稳定性和简易的维护,收到了各界用户的*。
日立2011年新推出了它的后续机型----SU8010,它继承了S-4800的优点,性能有进一步提高,1kv使用减速功能后,分辨率提升到1.3nm,相对于S-4800可以在更低的加速电压下呈高分辨像,明显提升了以往很难观测的低原子序数样品的观测效果。
产品特点:
1. 低加速电压成像能力,1kv分辨率可达1.3nm
2. 日立专li的ExB设计,不需喷镀,可以直接观测不导电样品
3. Upper探头可选择接受二次电子像或背散射电子像
4. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能
5. 标配有冷指、电子枪内置加热器,物镜光阑具有自清洁功能
6. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成
主要用途:
扫描电镜(SEM)可观察纳米材料、材料断口的分析、观察原始表面、观察区域细节、显微结构分析等。
X射线能谱仪可进行成分的常规微区分析:元素定量、定性成分分析,实时微区成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量。分析范围Be4~U92。
已广泛应用于材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料、医药科学以及生物等领域。
二次电子分辨率
1.0nm(加速电压15kV、WD=4mm) 1.3nm(加速电压1kV、WD=1.5mm) 加速电压 0.1~30kV 观测倍率 20~8000,000(底片输出) 60~2,000,000(显示器输出) 样品台 马达驱动 3轴马达 5轴(选配) 行程 X 0~50mm Y 0~50mm Z 360° T -5~70° R 1.5~30mm zui大装载尺寸 100mm(zui大) 150mm(选配) 探头 标配 Lower 高立体感图像 Upper 高分辨SE、BSE图像
选配STEM 明场像、暗场像 YAG 探头 BSE图像 半导体探头 BSE图像 EBIC 电子束感生电流图像 EDS 元素分析 反污染措施 冷指 标配 物镜光阑 内置自清洁功能 电子枪 内置加热器 真空系统 离子泵 3台 分子泵 1台 机械泵 1台