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- 多功能分析型可变压扫描电镜
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研究超大，超重，多功能分析型可变压扫描电镜
● 可载样品直径达300mm
● 观察区域直径达203mm
● 在观察110mm高样品时可进行能谱分析
● 样品室设置多种接口，可安装EDS、WDS、EBSD和CL等多种分析用附件
● 5轴优中心马达台可以倾斜--20°~+90°
● 采用节能，清洁的涡轮分子泵
S-3700N多功能分析型可变压扫描电镜技术参数
分辨率 SE 3.0nm，30KV(高真空模式)
10nm， 3KV(高真空模式)
BSE 4.0nm，30KV（低真空模式）放大倍率 x5~x300，000 加速电压 0.3~30KV 低真空范围 6~270Pa 图像电位移 ±50μm （工作距离 10mm） *装载样品 直径300mm 样品台
X 150mm Y 110mm Z 5~65mm R 360° T -20°~90° 观测区域 203mm直径 样品*高 110mm（工作距离10mm） 样品台类型 优中心马达台 电子光学系统
灯丝 预对中灯丝 物镜光阑 4孔活动光阑4孔活动光阑 枪偏压 固定比例偏压、手动偏压和自动4偏压 探测器 二次电子探头
5分割半导体式被散射探头分析位置 工作距离10mm，取出角35° 显示控制系统
控制模式 键盘鼠标、操纵杆、旋钮板 显示器 液晶显示器 辅助功能 3D动画演示功能
电镜操作导航功能
样品操作导航功能
倾斜补偿功能存储图像精度 640 x 480 , 1280 x 960
2560 x 1920 , 5120 x 3840图片格式 BMP, TIFF, JPEG 图像显示模式 全屏模式：1280 x 960
标准模式：640 x 480
分割模式：640 x 480 点 x 2
信号混合模式真空系统
控制模式 全自动 分子 210升/秒，一台 机械泵 135升/分，一台 保护措施 断电保护、漏气保护